技术指标
真 空 度:0~-92kPa
精 度:0.1%FS
真空室有效尺寸:
Φ270mm×220 mm (H) (标配)
Φ360mm×590 mm (H) (选购)
Φ460mm×330 mm (H) (选购)
注:其他尺寸可定制。
气源压力:不大于1.1MPa (气源用户自备)
气源接口:Φ6mm